1. Membaca niat Sholat Tahajud.

2. Membaca Takbiratul Ihram.

3. Membaca Doa Iftitah.

4. Membaca surat Al-Fatihah.

5. Membaca surat-surat pendek Al-Quran.

Pada rakaat pertama, usai membaca surat Al-fatihah, kemudian membaca surat pendek, misalnya Al-Kafirun.

6. Ruku' dengan tumakninah lalu membaca: 

سُبْحَانَ رَبِّىَ الْعَظِيمِ وَبِحَمْدِهِ

Subhana rabbiyal azimi wabi hamdih.

Artinya: Maha Suci Rabbku yang Maha Agung dan segala puji bagi-Nya.

7. I'tidal dengan tumakninah lalu membaca:

سَمِعَ اللهُ لِمَنْ حَمِدَهُ 

Sami Allahu liman hamidah.

Artinya: Allah mendengar siapa saja yang memuji-Nya.

رَبَّنَا وَلَكَ الْحَمْدُ