Berikut ini tata cara sholat tahajud dilansir Tribun-Timur.com dari laman kemenag.go.id:

1. Baca niat Sholat Tahajud

أُصَلِّيْ سُنَّةَ التَّهَجُّدِ رَكْعَتَيْنِ لِلَّهِ تَعَالَى

(Usholli sunnatat tahajudi rok’ataini lillahi ta’aalaa)

Artinya: “Aku niat sholat sunnah Tahajud dua rakaat karena Allah Ta’ala”

2. Lanjutkan dengan melakukan Takbiratul Ihram (membaca Allahuakbar sambil mengangkat kedua tangan sejajar dengan telinga).

3. Membaca doa iftitah.

4. Membaca surah Al-Fatihah.

5. Membaca surat-surat pendek Al-Quran seperti An-Nas, Al-Ikhlas, Al-Falaq, atau surat pendek apa saja dalam Al Quran.

6. Lakukan langkah-langkah sholat pada umumnya seperti rukuk dan sujud yang lalu rakaat kemudian disamakan dengan rakaat pertama (kecuali doa iftitah).

7. Lakukan tahiyat akhir dan salam.

8. Selanjutnya, Anda disunahkan membaca bacaan wirid, tasbih, tahmid, sholawat, istigfar, lalu membaca doa sholat tahajud.

Membaca doa yang dipanjatkan Rasulullah ﷺ berdasarkan riwayat Imam al-Bukhari dan Muslim sebagaimana berikut:

اَللهم رَبَّنَا لَكَ الْحَمْدُ أَنْتَ قَيِّمُ السَّمَوَاتِ وَاْلأَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ. وَلَكَ الْحَمْدُ أَنْتَ مَلِكُ السَّمَوَاتِ واْلأَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ. وَلَكَ الْحَمْدُ أَنْتَ نُوْرُ السَّمَوَاتِ وَاْلأَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ. وَلَكَ الْحَمْدُ أَنْتَ الْحَقُّ، وَوَعْدُكَ الْحَقُّ، وَلِقَاءُكَ حَقٌّ، وَقَوْلُكَ حَقٌّ، وَالْجَنَّةُ حَقٌّ، وَالنَّارُ حَقٌّ، وَالنَّبِيُّوْنَ حَقٌّ، وَمُحَمَّدٌ صَلَّى اللهُ عَلَيْهِ وَسَلَّمَ حَقٌّ، وَالسَّاعَةُ حَقٌّ. اَللهم لَكَ أَسْلَمْتُ، وَبِكَ آمَنْتُ، وَعَلَيْكَ تَوَكَّلْتُ، وَإِلَيْكَ أَنَبْتُ، وَبِكَ خَاصَمْتُ، وَإِلَيْكَ حَاكَمْتُ، فَاغْفِرْ لِيْ مَا قَدَّمْتُ وَمَا أَخَّرْتُ وَمَا أَسْرَرْتُ وَمَا أَعْلَنْتُ وَمَا أَنْتَ أَعْلَمُ بِهِ مِنِّي. أَنْتَ الْمُقَدِّمُ وَأَنْتَ الْمُؤَخِّرُ لآ اِلَهَ إِلَّا أَنْتَ. وَلَا حَوْلَ وَلَا قُوَّةَ إِلَّا بِاللهِ

Allâhumma rabbanâ lakal hamdu. Anta qayyimus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu anta mâlikus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu anta nûrus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu antal haqq. Wa wa‘dukal haqq. Wa liqâ’uka haqq. Wa qauluka haqq. Wal jannatu haqq. Wan nâru haqq. Wan nabiyyûna haqq. Wa Muhammadun shallallâhu alaihi wasallama haqq. Was sâ‘atu haqq. Allâhumma laka aslamtu. Wa bika âmantu. Wa ‘alaika tawakkaltu. Wa ilaika anabtu. Wa bika khâshamtu. Wa ilaika hâkamtu. Fagfirlî mâ qaddamtu, wa mâ akhkhartu, wa mâ asrartu, wa mâ a‘lantu, wa mâ anta a‘lamu bihi minnî. Antal muqaddimu wa antal mu’akhkhiru. Lâ ilâha illâ anta. Wa lâ haula, wa lâ quwwata illâ billâh.